靶材ITO靶材是濺射靶材中的一種,主要通過磁控濺射將ITO靶材氣化,濺鍍到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上,制造成ITO薄膜,后者為透明導(dǎo)電氧化物薄膜,厚度一般為30-200納米。
據(jù)賽瑞研究報(bào)道,2019年全球?yàn)R射靶材市場規(guī)模約163億美元,2015年以來年復(fù)合增長率超10%,預(yù)計(jì)2020年全球靶材市場規(guī)模將超過190億美元,其中ITO靶材市場規(guī)模將超過30億美元。
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